ダイレクト金属プリントを活用して、最適化されたフォームファクタとより効率的なガス経路で生産することにより、製品の性能と混合効率を向上し、信頼性を高め、製造コストを削減
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コンポーネントの削減
100%
漏れ防止
3 x
効率の向上

部品数を削減しながら、ガスの搬送と混合効率を向上

3D プリントされたガスミキサー

アクティブ冷却を備えたガスミキサーの金属 3D プリントされた断面

半導体資本設備のクリーニングやエッチングなどの湿式処理システムでは、苛性ガスを密閉されたプロセスチャンバに搬送することが一般的です。したがって、ガスを分離したままにしておく必要があるか、混合する必要があるかどうかにかかわらず、漏れがなく、フロー乱流を制限した状態で、最小限に抑えたプロセスチャンバの開口部からガスを効率的に搬送することが重要です。これには、腐食性ガスに耐性のある材料で作られた複雑な多成分ガスミキサーとフィーダアセンブリが必要です。

3D Systems のダイレクト金属 3D プリントソリューションと半導体設備に関する専門知識を駆使して、このすべてを最適化できます。ガス搬送システムがより小さなスペースに収まるよう、より少ない部品数で設計しつつ、より高い信頼性を実現できます。さらに、最適化され、より複雑なガスミキサーをはるかに短時間で開発することで、より効果的な混合をより迅速に実現できます。 

金属積層造形の利点

  • 半導体設計の柔軟性 - ガス搬送

  • デザインの柔軟性

    積層造形は、プロセスチャンバにガスを確実に搬送し、効率的に混合する数値モデル化されたガス経路を使用して、狭いスペース内にガスフィーダとミキサーを最適に設計し、迅速に反復製造することを可能にします。

  • 半導体クリーンルーム環境

  • クリーンルーム環境向けの高い品質と精度

    高い材料品質と、微細な部品細部、酸素レベルが極めて低く安定した不活性ガスの中で生産された高い部品精度に、最適な粒子清浄度を実現する独自の処理を組み合わせています。これにより、クリーンルーム要件を満たし、半導体設備での使用に適した金属部品が得られます。

  • パフォーマンスと生産性

    ガスフロー乱流の低減により、クリーニングガスとエッチングガスの正確かつ均等な拡散を可能にし、システム全体の効率とスループットを向上してウエーハ処理数を増加できます。また、積層造形では、部品数およびアセンブリ数を削減した、構造的に最適化されたガスフィーダが得られます。モノリシック部品で複数部品のアセンブリを置き換えることにより、信頼性を向上させ、製造歩留まりを改善し、人件費を削減します。

ガスの搬送および混合の最適化

  • ガスフロー効率の向上 - ガス搬送

    ガスフロー効率の向上

    積層造形によって、これまでに例のない設計柔軟性を半導体設備エンジニアにもたらします。半導体設備エンジニアは、斬新な内部パターン、ノズル形状、ミキシングチャンバを活用して、ガスのフローと混合を最適化し、性能と効率を最大化できます。

  • ウエーハを持つ技術者

    信頼性の向上

    積層造形では、部品数およびアセンブリ数を削減した、構造的に最適化されたガスフィーダが得られます。これにより、最高温度および最高動作圧力下にある接続部の流体漏れを解消し、コンポーネントの品質を大幅に向上します。

  • ルーラー付き半導体ガスミキサー

    体積の最小化

    肉厚の薄型化とコンポーネントの統合により、完全な気密性を実現し、より小さなパッケージサイズでより効率的な機能を可能にします。従来の製造プロセスと比較して、多軸フィーチャとトラップボリュームをはるかに簡単に作成できます。

  • 3d systems laserform ti gr5 (a) dmp hydraulic manifold gf post machined alternate

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リソース

  • 半導体 eBook のカバー

    金属積層造形の迅速な導入と拡張

    この eBook では、3D Systems の数十年にわたる経験と専門知識がどのように金属 AM の統合を支援し、半導体資本設備メーカーおよびサプライヤーのパフォーマンス、生産性、信頼性の向上を実現するのかご紹介します。

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  • ロボットアーム上にあるシリコンウエーハおよび超小型回路

    半導体資本設備向けの積層造形

    3D Systems の金属アディティブマニュファクチャリングが、半導体資本設備メーカーおよびサプライヤが性能、生産性、信頼性を向上させるために必要な能力をどのように提供できるかをご覧ください。

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その他の半導体のアプリケーション

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DMP Factory 350 Duel 3D Printer

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粉体管理が統合された高品質な金属3Dプリント

LaserForm Ni718 (A)

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3D Systems 3DXpert hero image

3DXpert

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