半導体資本設備向けの積層造形

コンフォーマル冷却チャネル付きのウエーハテーブル、パーツが一体化したエンドエフェクター、高度な運動カップリング、光学コンポーネント用の曲げパーツを含む複雑な特徴をもつパーツを最適な状態で設計し、迅速に反復処理し、製造します。

半導体設備の精度、速度、信頼性、スループットを改善することによってウエーハ生産数を向上させます。熱管理、最適な流体フロー、軽量化、パーツ一体化など、重要なパーツやサブシステムにおける性能上の利点を実現します。

当社の金属積層造形ソリューションでは、高い材料品質とパーツ精度を確保し、酸素レベルが極めて低くく安定した不活性ガスの中でパーツを生産し、最適な粒子清浄度を実現する独自の処理を組み合わせています。これにより、クリーンルーム要件を満たし、高真空環境での使用に適した金属パーツが得られます。